Máy đo biên dạng quang học 3D lai SuperView WT3000 Chotest

Máy đo 3D quang học lai SuperView WT3000 Hybrid 3D Chotest Technology Inc

SuperView WT3000 Hybrid 3D Optical Profilometer

Thông số kỹ thuật chính – SuperView WT3000

Công nghệ đo:
• Hybrid 3D (kết hợp White Light Interferometry + Confocal Microscopy) – cho phép đo bề mặt không tiếp xúc với độ chính xác sub-nanometer.

Nguồn sáng: White Light LED
Hệ thống video: 1024 × 1024

Ống kính / Lựa chọn:
• Interference Objective Lens: 10× (tùy chọn 2.5×, 5×, 20×, 100×)
• Confocal Objective Lenses: 10×, 50× (tùy chọn 5×, 20×, 100×)

Tầm nhìn (Standard Field of View): ~1.2 × 1.2 mm (10×)
Turret ống kính: Motorized 5-hole turret (đổi ống kính tự động)

Bàn đo & Động cơ

• Bàn XY: 200 × 200 mm (Travel Range 100 × 100 mm)
• Tải trọng bàn: ~10 kg
• Control: Motorized
• Nghiêng (Tilt): ±3°
• Trục Z: Travel range 100 mm, motorized control
• Phạm vi quét trục Z: 10 mm

 Độ chính xác & độ lặp lại

• Surface Topography Repeatability (STR): ~0.1 nm (White light interferometry)
• Roughness RMS Repeatability: ~0.005 nm (White light interferometry)
• Đo độ cao bậc (Step Height): Accuracy ~0.5%; Repeatability ~0.1% (1σ)

Kích thước & môi trường

• Kích thước máy: ~440 × 330 × 700 mm
• Trọng lượng: ~50 kg
• Điều kiện môi trường hoạt động:
 – Nhiệt độ: 0 °C ~ 30 °C (biến động <2 °C/h)
 – Độ ẩm: 5% ~ 95% RH, không ngưng tụ
 – Tránh từ trường mạnh và khí ăn mòn

Điện & khí nén

• Nguồn điện: AC 100–240 V, 50/60 Hz, 4 A, 300 W
• Khí nén: 0.6 MPa, sạch, không dầu / nước, 6 mm đường ống

Các model khác máy đo bề mặt quang học 3D độ phân giải nano Chotest Technology Inc

SuperView W1
– Model tiêu chuẩn của dòng Nano 3D Optical Surface Profilometers phục vụ đo hình dạng và độ nhám bề mặt với độ lặp lại thấp (~0.005 nm).

SuperView W1-Pro
– Phiên bản nâng cấp của W1 với bàn đo lớn hơn (stage lớn hơn), phù hợp với mẫu lớn hơn trong kiểm tra bề mặt.

SuperView W1-Ultra
– Model tăng tốc độ quét so với W1, thích hợp cho ứng dụng trong dây chuyền sản xuất yêu cầu đo nhanh hơn.

SuperView W1-Lite
– Phiên bản chi phí thấp hơn và đơn giản hơn, vẫn đo 3D quang học nhưng với độ lặp lại/hiệu suất phù hợp ứng dụng tiêu chuẩn.

SuperView W3
– Một model nâng cấp hơn với kích thước bàn đo lớn hơn (XY table lớn hơn so với W1) và cấu hình phù hợp hơn cho đo mẫu kích thước lớn/ứng dụng chuyên sâu. 

Dòng Hybrid 3D Optical Profilometer (SuperView WT Series)

(Kết hợp White Light Interferometry + Confocal Microscope)

SuperView WT3000 Hybrid 3D Optical Profilometer – model chủ lực, đo bề mặt sub-nanometer.

SuperView WT3200 Hybrid 3D Optical Profilometer – phiên bản khác trong cùng dòng WT (được ghi trong danh mục sản phẩm hãng).

Các model này thường dùng cho đo bề mặt rất mịn không tiếp xúc bằng cách kết hợp hai công nghệ đo quang.

 Dòng Nano 3D Optical Surface Profilometers (SuperView W Series)

(chủ yếu sử dụng White Light Interferometry)

SuperView W1 – model cơ bản, hiệu suất cao cho đo nhám và hình dạng mặt.

SuperView W1-Lite – bản chi phí thấp hơn hoặc tùy chọn cấu hình đơn giản.

SuperView W1-Ultra – phiên bản cải tiến với tốc độ quét cao hơn.

SuperView W3 – model có bàn đo lớn hơn và cấu hình công nghiệp hơn.

SuperView W5 5-Axis Auto 3D Optical Surface Profilometer – phiên bản cao cấp với hệ bàn đo 5 trục tự động, rất phù hợp cho ứng dụng phức tạp (được liệt kê trong danh mục sản phẩm hãng).

SuperView WX100 White Light Interferometry Probe – probe interferometry riêng cho ứng dụng tùy chọn.

Tóm tắt dòng sản phẩm chính