danh mục sản phẩm
MÁY ĐO ĐỘ NHÁM VÀ BIÊN DẠNG NS200 Chotest
- Bảo hành sản phẩm 12 tháng
- Giao hàng miễn phí toàn quốc
- Hỗ trợ tư vấn kỹ thuật 24/7 (cả dịp Lễ, Tết)
- Bảo hành nhanh chóng khi khách hàng phản hồi
MÁY ĐO ĐỘ NHÁM VÀ BIÊN DẠNG NS200 CHOTEST
Máy đo tiếp xúc độ chính xác cao cho bề mặt micro-nano
Stylus Nano Profiler NS200 Chotest Technology Inc
Thông số kỹ thuật Stylus Nano Profiler NS200
Thông số chung
-
Model: NS200 (còn có phiên bản NS200-D)
-
Loại thiết bị: Stylus Nano Profiler – máy đo tiếp xúc độ chính xác cao， cho đo độ nhám bề mặt, profile nhỏ và đo chiều cao bước micrô/nano
-
Ứng dụng: bán dẫn, LED, màng mỏng, MEMS, bảng mạch PCB, kính/phần hiển thị, đo film trên linh kiện mềm, y tế, ô tô…
Thông số kỹ thuật chính
Quan sát mẫu
-
Camera màu 5 MP, F.O.V. 2.2 × 1.7 mm (chỉ NS200; NS200-D có F.O.V. khác)
Cơ bản đo lường
-
Cảm biến: LVDC với lực đo cực nhỏ, độ trễ thấp (ultra low inertia)
-
Lực đo: điều chỉnh từ 1 – 50 mg
-
Bút cảm biến (stylus):
-
Bán kính đầu tip: 2 µm
-
Góc: 60°
-
Phạm vi & chuyển động
-
Phạm vi di chuyển XY: X/Y motor 150 mm × 150 mm với leveling thủ công
-
Góc xoay R-θ của stage: xoay motor 0 ~ 360° liên tục
-
Chuck chân không: 6-inch
Dữ liệu đo
-
Chiều dài quét 1 lần: 55 mm
-
Phạm vi quét tối đa: XY + 55 mm (8″)
-
Tốc độ quét: 2 µm/s ~ 10 mm/s
-
Số điểm lấy mẫu tối đa: 12,000 điểm/quét
Độ cao & vật mẫu
-
Chiều cao mẫu tối đa: 50 mm
-
Kích thước wafer tối đa: 200 mm (8″)
Độ lặp lại
-
Step height repeatability:
-
~5 Å trong phạm vi 330 µm
-
~10 Å trong phạm vi 1 mm (theo 1 µm step)
-
Kích thước & điện
-
Kích thước: 640 × 610 × 500 mm (phiên bản NS200)
-
Trọng lượng: khoảng 40 kg
-
Nguồn điện: AC 100–240 V, 50/60 Hz, 200 W
Môi trường làm việc
-
Độ ẩm: 30% – 40% RH (không ngưng tụ)
-
Nhiệt độ: 16–25 °C (biến động <2 °C/h)
-
Rung nền: ≤6.35 µm/s (1–100 Hz)
-
Tiếng ồn: ≤80 dB
-
Dòng khí: ≤0.508 m/s hướng xuống
| Model No. | NS200 | NS200-D | |
| Sample Observation | Front View Navigation | 5MP Colorful Camera F.O.V. : 2.2x1.7mm | 5MP Colorful Camera F.O.V. : 10x13.4mm |
| Side View Navigation | / | 5MP Colorful Camera F.O.V. : 2x2.68mm | |
| Sensor | Ultra Low Inertia, LVDC Sensor | ||
| Measuring Force | 1-50mg Adjustable | ||
| Stylus | Tip radius 2μm , angle 60° | ||
| XY Travel Range | Motorized X/Y(150mm×150mm), manually adjustable leveling | ||
| Sample R-θ Stage | Motorized, 0~360°, continuous rotation | ||
| Vacuum Chuck | 6-inch vacuum chuck | ||
| Single Scan Length | 55mm | ||
| Max Scanning Range | 150(XY travel) + 55mm scanning range, max range is 8 inches | ||
| Max Sample Height | 50mm | ||
| Max Wafer Size | 200mm(8”) | ||
| Step Height Repeatability*1 | 5 Å @ Range 330μm/ 10 Å @ Range 1mm (Measure step height 1μm, 1δ) | ||
| Sensor Range*2 | 330μm or 1050μm | ||
| Scanning Speed | 2μm/s~10mm/s | ||
| Max Scan Sampling Points | 12000 | ||
| Size(L×W×H) | 640×610×500mm | 640x650x530mm | |
| Weight | 40kg | ||
| Input | AC100~240V, 50/60 Hz, 200W | ||
| Working environment | Humidity: 30~40% RH(No condensation), Temp.: 16~25°C(Fluctuation < 2°C/h), Ground vibration: 6.35μm /s(1~ 100Hz), Audio noise: ≤80dB, Air laminar flow: ≤ 0.508 m/s(Downward flow) | ||
|
Note: |
|||
